Применение нитрида алюминия (AlN) в полупроводниковой промышленности: компоненты полупроводникового оборудования.

В полупроводниковом производстве рассеивание тепла кремниевых пластин имеет решающее значение. Несоблюдение равномерного распределения температуры по всей поверхности кремниевой пластины приведет к ухудшению однородности и точности процесса изготовления пластин.

Преимущества использования нитрид алюминия В качестве основного материала используются: контролируя его объемное сопротивление, можно достичь широкого температурного диапазона и достаточной силы адсорбции. Электростатические зажимы (ESC) Изготовленные из нитрида алюминия, нагреватели обеспечивают превосходную равномерность температуры благодаря высокой гибкости их конструкции. нитрид алюминия компоненты(АльН компоненты) Они изготавливаются методом монолитного совместного обжига, что исключает эффекты старения, вызванные деградацией электродов, и обеспечивает максимальное качество продукции. Они способны долго работать в вакуумной атмосфере с плазмой и галогенами, выдерживать самые суровые условия обработки в полупроводниковой и микроэлектронной промышленности, обеспечивая при этом стабильную силу адсорбции и точный контроль температуры.

В настоящее время, Сямынь Джучи использует метод карботермического восстановления для производства порошок нитрида алюминияс производственной мощностью 700 тонн в год на заводе в Сямэне и 1200 тонн в год на заводе во Внутренней Монголии.

Контакт:

Сямынь Джучи Технологическая компания, ООО.

Телефон: +86 151 5177 8700

Электронная почта: qinxianhui@chinajuci.com

Веб-сайт: www.jucialnglobal.com