В полупроводниковой промышленности контроль температуры является критически важным фактором, определяющим выход годной продукции. Такие процессы, как осаждение тонких пленок и травление, требуют точного контроля температуры пластин, где равномерность температуры напрямую влияет на производительность и надежность чипа. В рамках этого высокоточного процесса керамические нагреватели из нитрида алюминия (AlN) благодаря своим выдающимся характеристикам стали незаменимым компонентом полупроводникового оборудования.
Почему керамические нагреватели стали предпочтительным выбором в полупроводниковом производстве?
Технологическая среда в полупроводниковой промышленности чрезвычайно суровая — она характеризуется высоким вакуумом, плазмой и присутствием коррозионно-активных химических газов, что предъявляет жесткие требования к материалам нагревателей. Традиционные металлические нагреватели с трудом обеспечивают надежную долговременную работу в таких условиях. В отличие от них, керамические нагреватели, обладающие исключительной коррозионной стойкостью, высокой электроизоляцией и термической стабильностью, стали единственным решением, способным справиться с этой задачей.
Керамические нагреватели из нитрида алюминия (AlN) устанавливаются непосредственно внутри технологической камеры в тесном контакте с подложкой. Они не только поддерживают подложку, но и обеспечивают достижение стабильной и равномерной температуры процесса, выступая в качестве «сердца» оборудования для осаждения тонких пленок.
Нитрид алюминия: идеальный материал для керамических нагревателей.
Среди различных керамических материалов нитрид алюминия (AlN) выделяется как оптимальный выбор для керамических нагревателей благодаря уникальному сочетанию свойств:
Отличная теплопроводность
Теоретическая теплопроводность AlN достигает 320 Вт·м⁻¹·К⁻¹. Это свойство позволяет нагревателю быстро нагреваться и охлаждаться, значительно повышая эффективность процессов производства полупроводников.
Идеальное соответствие коэффициенту теплового расширения
Коэффициент теплового расширения AlN (4,18×10⁻⁶ K⁻¹) очень близок к коэффициенту теплового расширения кремния. Эта совместимость имеет решающее значение, поскольку она эффективно минимизирует термическое напряжение на подложке, что напрямую повышает выход годной продукции.
Выдающиеся механические и электрические свойства
Нитрид алюминия (AlN) сочетает в себе высокую механическую прочность, превосходную износостойкость и выдающуюся электрическую изоляцию (с объемным сопротивлением до 10¹³ Ом·см) с низкими диэлектрическими потерями. Этот комплексный профиль полностью отвечает высоким требованиям к материалам, используемым в полупроводниковых процессах.
Экологические преимущества и преимущества в области безопасности
В отличие от токсичных материалов, таких как оксид бериллия, нитрид алюминия нетоксичен и экологически безопасен, что лучше соответствует философии устойчивого развития современной промышленности.
Точная конструкция и производственный процесс
Конструкция керамических нагревателей из нитрида алюминия отличается высокой сложностью:
Керамическое основание: удерживает пластину и включает в себя внутренние нагревательные элементы и ВЧ-электроды.
Опорная конструкция: Используются керамические материалы с согласованным коэффициентом теплового расширения для защиты клемм и проводов.
Уникальное соединение вала: эффективно противостоит эрозии, вызванной плазмой и химическими газами.
Внутренние каналы для циркуляции воздуха: обеспечивают равномерное распределение температуры по всему нагревателю.
В процессе производства используется передовая технология трафаретной печати с применением проводящих паст, таких как вольфрам, молибден или тантал, для формирования точных схемных рисунков. Интеграция компонентов достигается с помощью многослойной керамической технологии совместного обжига, гарантирующей надежность и длительный срок службы нагревателя.
О компании Xiamen Juci Technology Co., Ltd.
Компания Xiamen Juci Technology специализируется на производстве керамика из нитрида алюминия (AlN)Обладая интегрированными научно-исследовательскими возможностями, охватывающими весь цикл от порошкового сырья до готовой продукции. Компания производит собственную продукцию высокой чистоты. порошок AlN Благодаря использованию передовых процессов формования и спекания, компания обеспечивает получение плотных, однородных изделий с превосходной теплопроводностью, надежной изоляцией и коэффициентом теплового расширения, соответствующим кремнию. Устойчивые к плазменной эрозии и обеспечивающие стабильную и надежную работу, компоненты Juci специально разработаны для высокотемпературных прецизионных применений, таких как полупроводниковые нагревательные пластины и электростатические зажимные устройства. Мы — ваш надежный партнер в области передовых материальных решений.
Контакт:
СямэньТехнология JuciКомпания, ООО
Телефон: +86 592 7080230
Электронная почта:miki_huang@chinajuci.com
Вебсайт:www.jucialnglobal.com
WhatsApp : +8618250812806
Электронная почта : chenxiaofang@chinajuci.com
Тел. : +8618250812806
