За пределами подложек: нитрид алюминия как функциональный полупроводниковый компонент.

На передовых фабриках, Керамика AlN перестала быть просто подложкой — она все чаще становится термофункциональной деталью внутри технологического оборудования.

Ан нагреватель из нитрида алюминия Для производства полупроводников обеспечивается высокая равномерность температуры на уровне пластины: высокая теплопроводность (170–230 Вт/(м·К)) быстро распределяет тепло по пластине, а встроенные резистивные слои обеспечивают точный, зонально контролируемый нагрев — комбинация, недоступная обычным керамическим нагревателям при высокой плотности мощности. Электростатический зажим из нитрида алюминия (AlN) электростатически фиксирует пластину, рассеивая при этом тепло, выделяемое в процессе высокомощного травления и химического осаждения из газовой фазы (CVD), где теплопроводность AlN — примерно в 5–10 раз выше, чем у оксида алюминия — напрямую подавляет температурные градиенты, приводящие к снижению выхода годной продукции. Между тем, изготовленный на заказ тигель из нитрида алюминия служит инертным высокотемпературным сосудом при выращивании кристаллов, предотвращая загрязнение расплавом там, где обычная керамика оказалась бы неэффективной.

Та же материальная логика распространяется и на последующие этапы: керамическая подложка из нитрида алюминия позволяет создавать силовые модули на базе IGBT/SiC и лазерные подложки; керамические корпуса из нитрида алюминия поддерживать герметичные корпуса для радиочастотных и силовых устройств; и передовые упаковочные материалы на основе нитрида алюминия незаметно внедряются в оптические двигатели мощностью 1,6 Тл и высокоплотные термоэлектрические охладители.

Все эти факторы сходятся к одному ограничивающему фактору: качеству порошка. Повышенное содержание кислорода в AlN занимает места атомов азота и приводит к образованию вакансий алюминия, которые действуют как центры рассеяния фононов и снижают теплопроводность. Квалифицированный порошок порошок нитрида алюминия высокой чистоты Следовательно, необходимо сочетать низкое содержание кислорода, узкое распределение частиц по размерам и воспроизводимую стабильность от партии к партии.

В настоящее время, несмотря на то, что порошок полупроводникового качества по-прежнему сосредоточен в руках немногих зарубежных компаний, его производство по-прежнему остается преимущественно зарубежным. поставщики порошка нитрида алюминияПродукция, разработанная отечественными производителями порошков, теперь по своим характеристикам сопоставима с зарубежными аналогами. В качестве примера можно привести компанию Xiamen Juci: она создала производственные мощности по выпуску порошка нитрида алюминия полупроводникового качества, обеспечив стабильное качество продукции и соответствие ключевым техническим характеристикам передового международного уровня, что позволяет ей предлагать конечным потребителям надежную отечественную альтернативу (импортозамещение).

Сямынь Джучи производит высокочистые Порошок AlN Гранулы AlN, теплопроводящий наполнитель и керамика AlN. Пожалуйста, свяжитесь с нами, если у вас есть какие-либо потребности.

Контактное лицо: Дженни Цинь / 진현혜 

Телефон: +86 151-5177-8700

Идентификатор WeChat: JENNY-8866

Xiamen Juci Technology Co., Ltd.

Электронная почта: qinxianhui@chinajuci.com

Вебсайт: www.jucialnglobal.com